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Physik Instrumente高精度納米定位平臺 應(yīng)用領(lǐng)域 ? 掃描顯微鏡 ? 測量技術(shù) ? 測試程序和質(zhì)量保證 ? 光子 ? 光纖定位
PI P-752高精度納米定位平臺 分辨率0.1納米 快速響應(yīng) 行程達(dá)35微米 電容式傳感器帶來高線性度 無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向可實現(xiàn)*的運(yùn)動 精度 PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽 命
PI-P-750壓電陶瓷納米定位系統(tǒng) 1nm的側(cè)向?qū)蚓? 無摩擦、高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng) 負(fù)載能力達(dá)10千克 分辨率1納米 帶電容傳感器的直接計量可實現(xiàn)高精度 直接驅(qū)動可實現(xiàn)快速響應(yīng) 行程75微米 PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命
PI-P-712線性壓電陶瓷掃描儀 ?高動態(tài),達(dá)5毫秒的穩(wěn)定時間 ?行程達(dá)40微米 分辨率達(dá)0.2納米 低外形的緊湊型設(shè)計,40 毫米 × 40 毫米 × 6 毫米 通光孔徑25 毫米 × 15 毫米 PICMA大功率促動器
PI-P-630高動態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng) ? 諧振頻率達(dá)3.25 千赫茲 ? 行程達(dá)80 微米 ? 狹窄扁平設(shè)計 ? 直徑為30 毫米的通孔尺寸