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Physik Instrumente S-340.A0L壓電偏擺臺(tái) 分辨率高達(dá)20微弧度，優(yōu)異的位置穩(wěn)定 性 ? 光束偏轉(zhuǎn)達(dá)4毫弧度 ? 并聯(lián)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)更高精度和動(dòng)態(tài) ? 亞微秒級(jí)響應(yīng)時(shí)間

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