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簡要描述:PI六軸精密壓電平臺P-587 用于X、Y、Z、θX、θY、θZ向上的定位和 掃描 線性行程為800 微米×800 微米×200 微米 大旋轉(zhuǎn)角度達(dá)1微弧度
產(chǎn)品型號:
所屬分類:向壓電工作臺
更新時間:2024-03-11
廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
PI六軸精密壓電平臺P-587
:PI(Physik Instrumente)
公司簡介:
德國PI公司是運動和定位領(lǐng)域的解決方案供應(yīng)商。
PI不僅開發(fā)和生產(chǎn)各種定位平臺和執(zhí)行器,用于線性,旋轉(zhuǎn)和垂直運動或不同軸的組合。 PI因此將這些解決方案適應(yīng)客戶特定的應(yīng)用或提供用于運動和定位的成品子系統(tǒng)。
P-587 六軸精密壓電平臺
§ 用于X、Y、Z、θX、θY、θZ向上的定位和 掃描
§ 線性行程為800 微米×800 微米×200 微米
§ 大旋轉(zhuǎn)角度達(dá)1微弧度
§ 并聯(lián)運動實現(xiàn)更快的響應(yīng)時間和更高的 多軸精度
§ 電容式傳感器帶來gao線性度
§ PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽 命
§ 零間隙,高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)
§ 六 自由度主動補償
機(jī)械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)均存儲在機(jī)械部件的SubD連接器的ID芯片中。每當(dāng)控制器啟動時,數(shù)字控制器的自動校準(zhǔn)功能就會使用這些數(shù)據(jù)。
直接位置測量帶來大精度
運動直接在運動平臺上測量,*不受驅(qū)動或?qū)蛟挠绊?。這樣可以實現(xiàn)jia的重復(fù)精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性 、快速響應(yīng)控制。
適用于復(fù)雜真空應(yīng)用
壓電陶瓷系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。無聚合物的壓電陶瓷系統(tǒng)可 實現(xiàn)極低的排氣率。
訂購信息
P-587.6CD
帶長行程的六軸納米定位系統(tǒng),800微米 × 800微米 × 200微米,±0.5毫弧度,平行計量,電容傳感器
PI六軸精密壓電平臺P-587